Wafer-on-Wafer: TSMC будет изготавливать "бутерброды" из нескольких кристаллов

Опубликовано:

tsmcВ будущих CPU и GPU наверняка будет все больше применяться многочиповый подход. AMD уже активно его использует с процессорами Ryzen Threadripper, соединяя в упаковке несколько кристаллов. В будущем вполне возможны дизайны на основе множества мелких кристаллов, количество которых будет зависеть от направленности продукта. И сегодня производители CPU и GPU работают над технической реализацией подобных решений.

AMD для своих GPU с памятью HBM использует подложку, но производить подобные чипы нелегко, обходятся они дорого. Intel использует технологию EMIB (Embedded Multi-die Interconnect Bridge), также в будущем возможно появление индукционной передачи данных между кристаллами, что можно видеть по тестовому чипу с TCI (ThruChip Interface).

TSMC является контрактным производителем, сегодня компания развивает производство по 7-нм техпроцессу, но она работает и над другими технологиями. Для будущих продуктов, состоящих из нескольких кристаллов, TSMC предложит еще одну технологию, разработанную вместе с Cadence. Она называется Wafer-on-Wafer или WoW. После технологий Chip-on-Wafer-on-Substrates (CoWoS) и Integrated-Fan-Out (InFO), WoW представляет собой третье поколение 3D-технологий.

Технология Wafer-on-Wafer предусматривает использование двух кристаллов, верхний приклеивается к нижнему "вверх ногами". Между кристаллами используются по два связующих слоя BEOL и FEOL, но TSMC не раскрывает их структуры. В случае одного из чипов используются TSV, чтобы вывести сигналы на упаковку.

У технологии WoW есть некоторые сложности, которые ухудшают долю выхода годных кристаллов. Дело в том, что подложки разрезаются только после процесса приклеивания кристаллов друг к другу. До этого процесса протестировать чип невозможно. Поэтому вполне вероятны ситуации, когда один кристалл в "бутерброде" рабочий, а второй - нет. В таком случае вся конструкция уже не будет функционировать. Так что базовым требованием для WoW является высокий уровень выхода годных кристаллов в целом.

Если верить TSMC, WoW можно комбинировать с другими методами. Например, в одной упаковке "бутерброд" WoW можно использовать вместе с другими кристаллами на подложке. Также через WoW можно будет объединять и больше двух кристаллов, но тогда у всех кристаллов кроме нижнего должны быть каналы TSV.

TSMC планирует использовать технологию Wafer-on-Wafer для чипов, изготавливаемых по 7 или 5-нм техпроцессам. Официального объявления пока нет. Подобная технология позволяет создавать мощные чипы, поэтому она наверняка будет использоваться для процессоров HPC. Компания Cadence выпускает оборудование для производства микросхем и обладает соответствующей компетенцией. В пресс-релизе приведены технологии компании.