Компании ASML и Intel сообщили о совместной установке и вводе в эксплуатацию первого литографического сканера TWINSCAN EXE:5200B. Ранее Intel стала первым заказчиком системы TWINSCAN EXE:5000 первого поколения. Этот High-NA-EUV-сканер уже почти два года работает на фабрике D1X в Хиллсборо (штат Орегон, США) и используется для разработки перспективных технологических процессов.
Одним из первых техпроцессов, где может применяться High-NA EUV, называют Intel 14A. По словам Intel, архитектура Intel 14A изначально предусматривает работу как с High-NA EUV (числовая апертура 0,55), так и с традиционным Low-NA EUV (0,33).
При этом Intel не стала первым клиентом, получившим TWINSCAN EXE:5200B. Южнокорейская компания SK Hynix, специализирующаяся на памяти, получила такой сканер еще в середине 2025 года и уже ввела его в эксплуатацию.
С появлением TWINSCAN EXE:5200B Intel делает следующий шаг к промышленному использованию High-NA EUV. Новый сканер заметно увеличивает производительность — до 175 кремниевых пластин в час. Кроме того, система обеспечивает более точное совмещение слоев: параметр overlay удалось улучшить до 0,7 нм, что критически важно для дальнейшего масштабирования техпроцессов.
В ближайшие годы ASML планирует наращивать поставки систем серии TWINSCAN EXE:5200. Темпы внедрения High-NA EUV будут зависеть от конкретного производителя чипов или контрактного фабриканта: кто-то рискнет раньше, кто-то выберет более осторожный подход. Intel может оказаться среди первых компаний, начавших массово применять эту технологию, однако такой шаг связан с заметными технологическими и производственными рисками.
Как и в случае с классическими EUV-сканерами, ASML продолжит развитие High-NA-EUV-платформы. После TWINSCAN EXE:5200B на рынок выйдут модели TWINSCAN EXE:5400, а затем TWINSCAN EXE:5600 — их появление ожидается до конца текущего десятилетия. Начиная с 2028 года ASML планирует перейти к следующему этапу — Hyper-NA EUV.
Ранее мы уже подробно разбирали ключевые преимущества и ограничения High-NA EUV в отдельном материале.
Подписывайтесь на группу Hardwareluxx ВКонтакте и на наш канал в Telegram (@hardwareluxxrussia).