В настоящее время основное внимание уделяется инновационным системам High-NA EUV, первую из которых ASML поставила Intel в декабре, но в ближайшие годы голландский производитель продолжит поставки большого количества «классических» EUV-систем. Теперь через социальные сети стало известно, что первая система TWINSCAN NXE:3800E была установлена на фабрике по производству чипов, но конкретный вендор не называется.
TWINSCAN NXE:3800E является преемником TWINSCAN NXE:3600D и TWINSCAN NXE:3400C, которые используются на фабриках по производству чипов по всему миру для текущих техпроцессов 7 и 5 нм. Об этом, как отмечают наши коллеги из ComputerBase, говорится и на страницах соответствующих систем. Соответственно, TWINSCAN NXE:3800E, скорее всего, предназначен для производства чипов по техпроцессам 3 и 2 нм.
Помимо уменьшения размеров структур, новые сканеры обычно оптимизированы для повышения пропускной способности. С TWINSCAN NXE:3800E компания ASML планирует обрабатывать на 33% больше пластин в час, чем с TWINSCAN NXE:3600D.
Ожидается, что будущие модели серии 4000, а именно NXE:4000F, позволят увеличить производительность еще на 10%. Кроме того, системы будут работать больший период без обязательных перерывов на техническое обслуживание. Все эти факторы, конечно, интересуют производителей полупроводников, поскольку чем эффективнее используются дорогостоящие системы, тем быстрее окупаются высокие затраты на приобретение и эксплуатацию.
Также ASML выпускает сканеры TWINSCAN NXE:5000 для инновационных техпроцессов High-NA EUV. Как уже упоминалось, первый из них в настоящее время устанавливается в отделе разработок Intel. С 2025 года в этом сегменте будет доступен TWINSCAN NXE:5200, который, вероятно, также будет использоваться при производстве первых чипов High-NA EUV.
Неизвестно, у какого заказчика ASML сейчас разместила первый TWINSCAN NXE:3800E. Однако для первоначальной поставки рассматривались только три дизайна чипов Intel, Samsung и TSMC.
Подписывайтесь на группу Hardwareluxx ВКонтакте и на наш канал в Telegram (@hardwareluxxrussia).